1400度單溫區管式爐采用一體式結構,爐膛采用氧化鋁纖維材料制成,等直徑硅碳棒加熱,耐高溫剛玉爐管,兩端配置不銹鋼真空法蘭;法蘭采用KF快接法蘭,進出料更方便;智能程控控溫儀表控溫精度高;雙層機殼設計,中空風冷系統確保外殼溫度不高.
更新時間:2024-03-12
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立臥兩用雙段式管式爐(熱解-燃燒系統)是一款雙段式結構,具有兩個獨立的加熱管式爐,可以實現大溫差雙溫區梯度;實現不同段的高低溫控制;外形結構采用立式和臥式雙用功能,即可立式使用又可以臥式使用,一機兩用,SK2-5-12DZ*2立臥兩用雙段式管式爐具有兩個200mm加熱區,獨立控制,梯度升溫,設計溫度1200度
更新時間:2024-05-06
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單溫區滑桿式PECVD系統由滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。單溫區滑竿式PECVD系統相對于CVD系統增加了等離子發生器
更新時間:2024-03-12
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